カリフォルニア工科大：レーザ干渉型MEMS加速度センサ開発

海外技術動向
http://www.caltech.edu/content/developing-next-generation-microsensors

http://www.nature.com/nphoton/journal/vaop/ncurrent/full/nphoton.2012.245.html

 カリフォルニア工科大(Caltech)は、レーザ干渉を応用したMEMS加速度センサを開発した。これまでのMEMS加速度センサは、おもりの変位を電気抵抗や容量の変化で検出するタイプであったが、本センサではフォトニック結晶構造中に作製されたおもりの変位を干渉光の強度の変化で検出する。光方式は、高感度、低雑音、温度依存性が小さい等の特徴があり、高精度を必要とする人工衛星等への搭載が検討されてきたが、大型のシステムであった。

　Caltechはマイクロ加工プロセスによりSiチップ内にレーザ干渉型加速度計を作製し、動作させることに成功した。小型であるため、民生用途への展開が期待される。
Nature Photonics (2012) DOI:10.1038/nphoton.2012.245