特集センサー技術、MEMSヒータの技術

20121011電波新聞8面

　従来の熱源として使われるヒータにはセラミックヒーターやコイル式ヒータがあるが小型化が難しく、消費電力が大きい、熱応答性が大きいという課題があった。北陸電気工業のMEMSヒータはこれらの課題に対応したものでシリコン上に絶縁膜と白金薄膜ヒータを形成している。応用例として半導体式ガスセンサがあり、金属半導体酸化物(感ガス膜)の空気中のガスによる化学反応を電気信号に変換したものである。反応性を高めるためと感ガス膜のクリーニングに熱エネルギーが必要とされる。MEMSヒータは熱応答性が高く低消費電力という特質がある。赤外線吸光式ガスセンサの光源としても活用できる。