ファイバーで監視、インフラ構造物の歪み・温度プラファイバーで監視、破断し難く塑性変形、散乱光解析で変化検出（東工大）

20141031日刊工業新聞23面

　東京工業大学精密工学研究所の中村健太郎教授らはプラスチック製光ファイバーを用いてインフラ構造物の歪や温度を監視する技術を開発した。ファイバーを構造物に張り巡らし、ファイバー中のブルリアン散乱光を解析し、どの位置にどの程度の歪や温度変化が加わったかを把握できる。10%以上伸ばすと塑性変形し、歪の大きさと位置を記録でき、常時監視しなくても地震の後に巡回検診できる。

タイヤ空気圧モニタリングシステム、世界最小レベル（フリースケール・セミコンダクタ）

20141027電波新聞3面

　フリースケール・セミコンダクタは0.3グラムのタイヤ空気圧モニタリングシステム(TPMS)を発表した。2軸加速度、圧力、温度センサーとコントローラー、RFトランスミッター、低周波レシーバーを搭載し、低消費電力によりバッテリー寿命を大幅に延長した。

圧電膜、生産時間半分に、車載センサー用溶液（三菱マテリアル）

20141024日経産業新聞13面

　三菱マテリアルは圧電膜を従来の半分の時間で生産する材料を開発した。大口径ウェハーの表面にPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)圧電膜を形成する際に使われるゾルゲル薬液の新製品を開発した。成膜工程の回数及び材量削減により加工費を半分以下とする。

IOT用小型センサー、ビル・橋梁異常検知、米社と開発へ（日本アンテナ）

20141023日経産業新聞3面

　日本アンテナは米ベンチャー企業のエブリセンスと組み、IoT用小型センサーの開発に乗り出す。小型センサーは直径5㎝程度で電池を内蔵し、GPS受信機能、無線LAN、ブルートゥース、温度・湿度・ガス・加速度センサーを備え、太陽電池の組み込みや防水パッケージ封印が可能。工場・農場の環境計測やビル・橋梁の異常検知といった用途を想定している。

鉛フリー圧電膜活用、3軸角速度センサー活用（日立金属）

20141022日刊工業新聞11面

　日立金属は鉛を使わない圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーを開発した。圧電薄膜には一般的にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)という鉛を含む材料が使われるが、ニオブ酸カリウムナトリウム(KNN)を用い、従来のPZTのセンサーと同等の検知特性を実現した。

MEMSマイク活用超音波ソリューションに注力（ノウルズ・ジャパン）

20141022電波新聞3面

　ノウルズ・エレクトロニクス・ジャパンはMEMSマイクを活用した超音波ソリューションへの展開を強化している。村田製作所と共同開発した超音波センサ内臓携帯端末をCEATECで展示した。端末より超音波を発信し、人間の手で反射させ、端末の4か所のMEMSマイクが検知し、手と端末の距離を把握してジェスチャー入力を実現できた。

構造物の劣化、微動で計測、3軸加速度センサー開発、ノイズ1000分の1（日本航空電子）

20141016日経産業新聞6面

　日本航空電子工業はMEMS技術を活用し、インフラモニタリングに有効な常時微動の計測に適した3軸加速度センサーを開発した。従来の地震計(サーボ型加速度計)に比べて価格を半分以下に抑えられる。MEMSセンサーは「くし歯型」の可動電極を持ち、揺れを静電容量の変化として捕える。ノイズ低減と加速度以外の外部要因対策を盛り込んだ。

MEMSセンサー事業拡大、超小型フォース（重荷）センサー開発（北陸電機工業）

20141010電波新聞4面

　北陸電気工業はMEMSセンサー事業を拡大し、新たに超小型フォース(荷重)センサーを開発すると共に、容量式湿度センサーやガスセンサーの量産を開始した。

熱源に付けるだけで発電、積層一体型熱電変換素子開発（村田製作所）

20141009電波新聞1面

　村田製作所は熱源につけるだけで発電する積層一体型熱電変換素子を開発した。50対100層を積層した50対品では10度の温度差で100マイクロワット（25ｍV,4mA）を発電する。配管・ダクトのモニタリング、車載センサー、インフラモニタリングを用途としている。

マイクロホンビジネス拡大、月間3500万個に引き上げ（ホシデン九州）

20141003電波新聞1面

　ホシデンはマイクロホンビジネスを拡大する。スマホ向けに加え自動車向けが増えており、エレクトレットコンデンサマイクロホンに加えアナログMEMSマイクロホンユニットの生産体制を整えた。用途として自動車用はカーナビの音声認識用に加え、周囲の雑音の中で音声を明瞭にするため複数のマイクロホンが使われ、今後はニーズが増えるとみている。

血中たんぱく質検出、樹脂チップ使い20分で（東レ）

20141001日経産業新聞19面

　東レは、血液に含まれる微量のたんぱく質を20分以内で検出できる測定システムを開発した。血漿を分離したり、試薬で検出する機能を1枚の樹脂チップに集積し、専用装置で3～4時間だった作業時間を大幅に短縮する。幅200～400マイクロメートルの微細な経路を樹脂チップ内部に設けて実現した。

小型半導体式ガスセンサー、感ガス部面積100分の1（フィガロ技研）

20141001日刊工業新聞12面

　フィガロ技研はMEMS技術を用い、サイズ、消費電力共に世界トップクラスの半導体式ガスセンサーを発売する。においや有機溶剤など空気の汚れを検知し、ガスの吸着・脱着による電気伝導率の変化をガス濃度として検知する。感ガス部の面積が小さく室温から差動温度まで到達する熱応答が速いため、消費電力が抑えられる。新たな用途としてスマートフォンやタブレット端末、ウエアラブル端末、さらにはIOTやM2M分野への展開を目指している。