センサー、MEMS応用した新製品の開発活発化

20121011電波新聞7面

　MEMS技術を応用したセンサーの開発が盛んだ。村田製作所は自動車用品質基準に適合した加速度センサー、ジャイロセンサー等を販売している。TDKは非接触で温度変化を検出できる薄膜サーミスタを開発した。北陸電気工業はマイクロヒーターと半導体ガスセンサーを融合したガスセンサーを開発した。