特集センサー技術、CEATECに見るMEMSセンサーの製品動向

20121011電波新聞10面

　シーテックでは様々なMEMSセンサーが紹介された。TDKは車載可能で外乱振動に対する出力変動が極めて少ないジャイロセンサーを開発した。村田製作所のジャイロコンボセンサーは1軸ジャイロセンサーと3軸加速度センサーを1パッケージ化した。ロームはグループ会社Kionix社の民生用途ジャイロスコープと3軸加速度センサーを展示した。
　気圧センサーではTDKが温度も測定できる製品を、ミツミ電機は小型と防水タイプを展示した。アルプス電気は8cmの高低差に相当する分解能を有する製品を展示した。
　北陸電気工業はMEMSヒーターと感ガス材料を融合したガスセンサーを展示した。
　太陽誘電はレーザー光を通して光の干渉により光路差を検出する変位センサーを開発した。
　パナソニックはSi基材に開けた穴にSiの梁を置き、梁の上に圧電体を載せた構造のMEMS歪センサーを開発した。圧電体の周波数変化により歪を検知する。
　TDKのMEMSマイクロフォンは、振動膜とICをセラミック基板にパッケージしたもの。アルプス電気はピエゾ抵抗素子を使用したフォースセンサー、パナソニックはサーモパイル型赤外線アレイセンサーを展示した。