先端製造技術開発を加速（東京エレクトロン、オランダASML)

20111201日経産業新聞７面

　東京エレクトロンはオランダASMLと連携し、先端製造技術の開発を加速する。東京エレクトロンがEUV(極紫外線)向けの塗布・現像装置を、ASMLが液浸技術を使った露光装置をそれぞれ供給し、20ナノメートル以降の微細化に対応した製造技術の確立を目指す。両社は2000年代以前から共同開発を進めており、東京エレクトロンは塗布・現像装置、ASMLは露光装置でそれぞれ80%程度の世界シェアを持つ。