半導体回路の描画装置、価格１／３、設置面積１／１０（ピーエムティ、東北大）

20111207日経産業新聞4面

　PMT(福岡県須恵町)は東北大須川成利教授らと半導体ウエハーに回路を焼き付ける「プロジェクション描画装置」を開発した。直径12.5ミリメートルの極小サイズウエハー加工に対応し、本体と制御機器で構成している。いずれも幅30センチ、奥行き45センチで床面積は従来品の1/10。価格も2000万円で従来の1/3で、量産が進めば数百万円を目指す。

　ウエハーを動かす動力に超音波モーターを、光源にはLEDを用い、小型化した。ウエハーに投影するレンズも小型化し、あらかじめ光のひずみを補正するシステムも開発した。多数の微小な鏡をコンピュータ制御し、回路設計データに基づき回路線幅600ナノメートルのパターンをフォトマスクなしで描画できる。産総研が研究を進めている小型生産システム「ミニマルファブ」の一部として活用する見通し。