世界一の秘密、測長SEM、高性能、量産ラインで発揮(日立ハイテク)

20111202日経産業新聞4面

　測長SEM(走査電子顕微鏡)で日立ハイテクノロジーズは世界シェア80%。同社の装置はウエハーを製造する大手半導体メーカーにとって量産品の質を支える命綱となっている。1984年の第一号機以来、半導体トランジスタの回路幅は3年で半分以下の微細化が進み、測長SEMの測定精度は25ナノメートルから0.3ナノメートルまで高まった。SEMを電気に弱い半導体の生産ラインで使えるよう、高輝度・低電圧の電界放出型電子銃(FE電子銃)を採用した。90年代には300ミリウエハーに対応した製品を、その後も分解能や生産性を高めた装置を開発し、世界シェアを維持している。