ダイヤモンドMEMSは将来の有望デバイスと成り得るか

海外技術動向
http://www.i-micronews.com/lectureArticle.asp?id=8043
　ダイヤモンドの電子デバイスへの応用に関し、最初に考案されたのは高周波スイッチであった。最近は広くMEMS、NEMSデバイスへの応用が試みられている。
　Cardiff大学の研究者らは、MEMS発信器へ応用を研究している。機械的振動特性に影響を及ぼすQ値がシリコンより１０倍高い値を示すからである。またヤング率はすべての材料の中で最も優れている。やはりシリコンより１０倍高い。
　製法に関し、ポリシリコンと同様のCVDプロセスでポリ（ナノクリスタル）ダイヤモンドの成膜が可能であり、シリコン標準プロセスとして組み込むことが可能である。
　このように機械的特性、プロセスコンパチ性に優れるダイヤモンドはいくつかのデバイスへの応用が考えられる。例えば振動型のカンチレバーに適している。これは成分センサやバイオセンサへの応用が可能であり、高い周波数を活用して高感度化が期待される。