MNOIC世界最先端の施設が本格稼働、MEMS研究開発を支援

20111130電波新聞5面

　今年４月に開設されたMNOIC(マイクロナノ・オープンイノベーションセンター)が本格的に稼働した。MNOICはMEMS製造ラインを自社設備のように利用できるオープンな研究拠点で、産業技術総合研究所内にマイクロマシンセンター/MEMS協議会が設けた。8-12インチウエハーに対応する専門設備が供えられ、海外のMEMS研究拠点に対抗できる世界最先端の施設だ。定額料金の年間使用、プロジェクト単位、時間単位などの利用が可能。研究開発にとどまらず、量産試作や小規模量産も行え、ビジネス立ち上げ支援体制も整えている。