振動を電力に変換、センサー端末試作（NTTマイクロ研）

20110926日刊工業新聞15面

　微小な振動で発電する技術をNTTマイクロシステムインテグレーション研究所が開発した。電子回路は従来技術に比べて約600分の一に相当する0.7ナノワットの低消費電力で動作する。この技術を利用し、振動素子と電子回路を組み合わせ、自律的に動作するセンサー端末を試作した。端末の大きさは現在3㎝角だが、今後ミリメートルサイズに小型化し、爪の先や衣服のボタンに貼り付けられるようにする。振動素子はバネで支持された可動体と固定電極で構成し、振動により可動体と固定電極の間の電気容量が変化すると容量素子に電荷がたまり、電圧が増大して振動の大きさが検出できる。