MEMSセンサー、水晶をウエハーとして利用

20110512 電波新聞 9面

　センサーの加工技術としてMEMS技術が注目されている。3軸加速度センサー、ジャイロセンサー、圧力センサー、フォースセンサー等の新製品が活発化している。MEMS技術で使用されるウエハーとして、シリコンに加えて水晶が注目されている。水晶が素材として高精度なセンサー開発に重要な役割を果たしており、今後の新製品開発が目指されている。