MEMS技術応用サーモパイル3タイプ10月出荷(浜松ホトニクス)

20110927電波新聞4面

　MEMS技術とCMOS回路技術を応用したサーモパイル(熱電推)の新製品を浜松フォトニクスが出荷する。2波長を検出するデュアルタイプ、受光素子を直線状に並べたリニアタイプ、面状に並べたアリアタイプの3タイプで、ガス分析や温度計測、人体検知などが用途。シリコン系材料の使用により高感度で高信頼性を、MEMS技術で幅広い製品ラインアップを、CMOS回路技術により高付加価値で低コストを実現した。