医療分野用MEMS事業が展開しつつある。STマイクロエレクトロニクスは糖尿病治療用のインスリンポンプをスイス社と開発中で、従来は10cm角以上だったポンプをMEMS技術を活用し3分の1程度に小型化した。2年後の量産化を目指す。同社は緑内障診断用のMEMS技術による圧力センサー内蔵の使い捨てコンタクトレンズを実用化している。パナソニックは血液流量を計測するマイクロポンプや血圧計測用の圧力センサーを医療機器向けにMEMS技術を実用化する。オムロンは病室の患者の有無を検知する温度センサーを開発中で、酸素濃縮装置向けに気体流量を計測センサーを量産済みである。米アナログデバイセズは聴診器向けにMEMSマイクを開発している。調査会社ヨール・デベロップメントによれば医療機器向けMEMS市場は15年に10年比3倍の41億ドルに達する見通し。
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