高精度超音波、半導体で、MEMS活用、発信機小さく、顕微鏡応用へ（NTT)

20130419日経産業新聞10面

　MEMS技術で加工した振動版を使用して、波形がそろった超音波を発信する半導体素子をNTTが開発した。端子の片方から波形が不ぞろいの超音波を入力すると、振動版が波形を揃え、もう片方の端子から揃った波形が出てくる。従来は水晶振動子などの部品が必要だが、新素子を使えば発信機の設置面積は10分の一以下になる。今後、ナノメートルサイズのカーボンナノチューブやグラフェンなどを振動板に利用すれば発振できる超音波の周波数を100ギガヘルツまで高められ、分解能が10ナノメートルの顕微鏡が実現できる。開発した半導体素子は振動発電向け素子としても使える。