MEMS差圧センサー、広い計測範囲、低圧力域で優れた感度再現性(オムロン)

20130410電波新聞3面

　オムロンは熱式MEMSフローセンサーチップを用いたMEMS差圧センサーを開発した。これまでの静電容量方式やピエゾ方式などの差圧センサーに比べ、計測範囲が広く、低圧力域での感度、再現性を高めた。内臓ASICで直線補正、温度補正のデジタル処理を行っている。測定範囲を0-250パスカル、±50パスカル、±500パスカルの3機種を取りそろえた。