2011年7月25日月曜日

MEMS用の露光装置投入(ニコン)

20110725日刊工業新聞12
 直径200ミリウエハーに対応させたMEMS用新型露光装置をニコンが発売する。処理能力が毎時30枚と60枚の2機種で、価格は12000万円から。

0 件のコメント:

コメントを投稿