マイクロポンプ量産にめど(菊池製作所)

20110725日刊工業新聞33面

　ステンレスシートを積層して製作したマイクロバルブとマイクロポンプを菊池製作所(八王子市)が開発した。7ミリメートル角のマイクロポンプで水を6メートルまで持ち上げる力がある。マイクロポンプは最薄10マイクロメートルのステンレスシートを8枚積層し、バルブユニットを内蔵する。携帯電話端末などに搭載する燃料電池の燃料ガス供給ポンプや医療分野で投薬用の使い捨てポンプとして利用できる。