第22回マイクロマシン／MEMS展あす開幕

20110712日刊工業新聞12面

　MEMS分野で世界最大欽慕の見本市「マイクロマシン／MEMS展」が明日7月13日～15日まで東京・有明の東京ビッグサイトで開かれる。展示会ではMEMSデバイス・センサーの他、製造装置、ナノインプリント、計測・検査装置など最新のMEMS技術を一堂に紹介する。「MEMSアウトソーシング」ではファウンドリー企業が集められ、海外で進んでいる製造委託の活用を促す。「クリーンルームゾーン」では低コスト・簡易設置型クリーンルームを展示する。13日の国際シンポジウムは大災害復興・節電に必須なMEMSグリーンイノベーションをテーマに海外の最先端情報が紹介される。14日にはNEDOでMEMSやナノテク、バイオ分野の融合を目的として3年前に開始されたBEANSプロジェクトの成果発表が行われる。MEMS協議会は、産総研つくば事業所内に開設したMEMSの技術開発から試作の中核拠点となる「マイクロナノ・オープンイノベーションセンター(MNOIC)」を紹介する。