チャレンジ新製品、慣性計測ユニット、小型・省エネで高精度(セイコーエプソン)

20110707日経産業新聞7面

　水晶と半導体技術を組み合わせ、小型・省エネで高精度な産業機械用慣性計測ユニットをセイコーエプソンが開発した。ロボットなどの部位の傾きを検知するもので、他社の従来製品に比べ消費電力を25％、大きさを4割低減し、角速度の誤検知を４分の一に抑えた。半導体を改良して温度補正など必要な機能に特化し、小型で消費電力を抑えた。半導体製造技術を応用して水晶素子を微細加工し、アルファベットのTの文字状で上下対称に配置し、角速度検出の障害となる外部振動をTの字部分が打ち消しあう構造として、高精度を実現した。今後は産業用途以外も視野に入れ、センサーを同社の主要事業に育てるという。