小型高感度センサー開発、大気中の腐食性物質(富士通研）

20110725日経産業新聞11面

　水晶振動子（QMC）を使って大気中の腐食性物質を高感度で測定し、電池内臓で無線でデータを送信するため、設置場所を自由に決められる小型センサーを富士通研究所が開発した。QMCの表面の電極に腐食性物質が付着すると、振動子の質量が変化し共振周波数が変わることにより検出できる。腐食しやすい電極と腐食しにくい電極の周波数差で、付着したのが腐食性物質か単なるゴミかを区別する。温度と湿度も測る機能を搭載する。腐食性物質を極力排除したい工場での実用化を目指す。