手軽に最先端の開発、オープンな研究拠点設立（MEMS協議会）

20110706電波新聞5面

　マイクロマシンセンターのMEMS協議会はマイクロナノオープンイノベーションセンター（MNOIC）を4月に設置した。8-12インチウエハー対応の最先端MEMS製造ラインを、自社設備のように利用できるオープンな研究拠点を始動する。MEMSデバイスの市場は急速に拡大しているが、国内メーカーは苦戦を強いられている。MEMS協議会は、研究開発から少量量産までを行える専門施設が国内に整備されていないことが要因と分析し、海外MEMS研究拠点に対抗しうる世界最先端の施設設置を目指してきた。この度、産業技術総合研究所つくば事業所に設置された8-12インチ研究施設を管理運営し、研究拠点MNOICを7月より本格始動する。前工程から後工程までカバーしている研究開発設備を、定額料金の年間使用や、時間単位、プロジェクト単位の利用が可能。量産技術の構築、小規模量産の支援も行う。