富士フィルム：高性能PZT圧電薄膜開発

海外技術動向
http://techon.nikkeibp.co.jp/english/NEWS_EN/20120724/230051/
　PZT（チタン酸ジルコン酸鉛）現在最も使われている圧電材料である。各種アクチュエータや加速度センサ、ジャイロセンサの歪検出部に用いられている。富士フィルムはSi基板上に従来比2倍の圧電性能を有する圧電薄膜を開発した。
　スパッタリングを用いた製膜法でニオブを13%添加することによって高い性能を実現した。バルクPZT材料では分極処理が必要だが、この圧電膜は製膜しただけで高い配向性の膜ができており分極処理が不要になる。
　本年度中には8インチウェハに製膜して出荷対応の予定で面内ばらつきは±5%に抑えている。