マイクロポンプ、超小型でも出力50倍、駆動源に電解共役流体(東工大)

20120802日刊工業新聞23面

　MEMS技術で作成する、超小型でも大きな力を出せるマイクロポンプを東京工業大学の横田眞一教授らが開発した。フッ素系の絶縁性液体である「電界共役流体(ECF)」を駆動源に応用し、電圧をかけると電極の間に強いジェット流が発生する。マイクロポンプユニットは三角柱とその先のスリット上の電極で構成され、スリットの幅と電極間隔は200マイクロメートル。ECFの容器とつなげて電圧をかけるとECFが流路に沿って流れる。1ユニットの大きさは高さ0.5ミリ、幅0.7-1ミリ、長さ2ミリで直列・並列につなげることで流量・圧力を増加できる。並列3対ｘ直列10対のユニットをつなげたマイクロポンプで、4キロボルトの電圧をかけた時の体積当たりパワー密度は150ミリワットという。携帯電話のレンズ、極小ロボットハンド、人工筋肉などへの応用が期待される。