マイクロスキャナー、小型化・高解像度を両立、必要な駆動ミラー一つだけ(独ファラウンホーファー）

20120720日刊工業新聞20面
　一つのMEMSミラーを2方式で制御し、小型化と高解像度を実現するマイクロスキャナーを独フラウンホーファー研究機構のフォトニック・マイクロシステム研究所が開発した。1方向には通常のミラー共振振動を。もう1方向は静電アクチュエーターで共振させずに動きを止める純静的駆動を使った。800x600画素(SVGA)程度の解像度が出せる。