振動計測装置を小型化、MEMSを活用(富士電機)

20120702日経産業新聞15面

　MEMS技術を活用したセンサーにより、建物などの振動を感知し、揺れのレベルを診断できる装置を富士電機が開発した。水平２方向と垂直の揺れを感知し、付属のシステムにより揺れのレベルを診断する。装置の小型化と安価な導入費用を実現した。