次世代センサー開発促進、独社の薄膜成長装置導入(旭化成エレクトロニクス)

20121107日刊工業新聞9面

　旭化成エレクトロニクスはドイツより化合物半導体製造用の薄膜成長装置を導入し、省エネ家電など次世代センサーの開発促進を目指す。同装置は有機金属などの薄膜材料を高温で反応させて基板上に製膜する。大面積や複雑な形状、研究ベースの試作から量産まで柔軟に対応できる。