チャレンジ!新製品、傾斜・振動センサー、高精度と低コスト両立(セイコーエプソン)

20121122日経産業新聞7面

　セイコーエプソンは水晶の微細加工技術を活用した産業機器向けのセンサー開発に注力している。傾斜計は1000分の1度、振動計は10マイクロGまで計測できる。従来の高層ビルや船舶など大型の物の計測には「機械サーボ方式」が主流だが、大型で高価格、設置にも専門技術者が必要だった。水晶振動子によるセンサーでは価格も機械式に比べて約4分の一、専門の技術者も不要。民生用の加速度センサーのシリコンMEMSに比べて測定のバラツキを約30分の一と高精度にできる。