米Purdue大学：プラズモニックメタマテリアル用に新しい材料開発：TiN（窒化チタン）

海外技術動向
http://www.scientificcomputing.com/news-DS-New-Path-for-Light-through-Metal-Found-032912.aspx
　ナノサイズの金属粒子と光との相互作用は表面プラズモン共鳴（SPR）として様々な光電子デバイスへの応用が研究されている。SPR用の金属材料としてはこれまで金、銀が多く使われてきたが、米Purdue大学の研究者はTiN（窒化チタン）が有効であることを見出した。金、銀の課題を挙げると、半導体デバイスとの集積化を考えた場合のプロセスや、銀の耐環境性が問題となる。
　一方TiNは、半導体デバイスのバリアメタルとして実用化されており、半導体プロセスとの相性が良い。また耐環境性に優れるので、体内埋め込みデバイスや工具材料にも用いられている。Purdue大では、TiNの薄膜を形成してSPR特性を評価した結果、金、銀とほぼ同じ特性を示すことを確認した。
　今後は、MBEの活用等製膜方法の工夫により電導性を高め、SPRや電磁メタマテリアルの実用性向上を目指す。

SPR、電磁メタマテリアルには自由電子密度、キャリア移動度の高い材料が望まれる。