鉛含まぬ圧電体開発(東工大、上智大、キャノン）

20120316日刊工業新聞24面

　毒性のある鉛を使わず、シリコンを用いたMEMSにも活用できる圧電体を東工大、上智大、キャノンの研究グループが開発した。ビスマス、亜鉛とチタンを含む酸化物で、圧電効果は鉛系圧電体とほぼ同じ、高温下でも動作する。安全性が重視される医療分野への応用、インクジェットやMEMSの高性能化につながると期待される。