銅使い超微細配線、インクジェット方式確率(SIJテクノロジなど）

20111012日刊工業新聞21面

　銅ナノ粒子を使いインクジェット方式による超微細配線技術をSIJテクノロジ(東京都)、イオックス(大阪府)、日本特殊陶業、大阪市立工業研究所、産業技術総合研究所が確立した。ガラス基板上に線幅5マイクロメートル、配線抵抗8.1マイクロオームセンチメートルの配線を作成できた。これまで線幅10マイクロメートル未満の金属配線は蒸着などで金属薄膜を作りエッチングなどで削っていたが、大掛かりな装置とコスト高が課題であった。本技術は銅ナノ粒子インクを使い、インクジェットで配線し、同時に酸素濃度を下げて熱処理を行い、金属表面の酸化を防ぎながら抵抗率を向上した。