MEMS事業加速、気圧センサーやマイクロヒーター(北陸電工)

20111025電波新聞3面

　北陸電気工業がＭＥＭＳ事業を加速している。既に３軸加速度センサーや圧力センサーなどを量産しているが、小型圧力センサーや超小型ＭＥＭＳマイクロヒーターを開発した。圧力センサーは高度計、気圧計、天気予報などの用途が見込まれ、マイクロヒーターはメンブレン構造の高耐久性で長寿命設計の低熱容量特性である。圧力センサーでは各種ニーズに応え、水位検知ではミリメートル単位の高精度で洗濯機等家電製品に適す。