20111006日経産業新聞7面
スマートフォンのタッチパネル向け超小型加重センサーをアルプス電気が開発した。加重を検知する圧力センサーはMEMS技術により、ピエゾ素子(圧力と電気を相互変換)を小型チップに収めた。チップ表面の突起に加重がかかるとピエゾ素子で構成したMEMSの測定回路が変形し、0~5ニュートンの強さに対し1.5~5.2ボルトの電気を出力する。スマートフォンの液晶パネルとタッチパネルの間に1~4個のチップを組み込み、指の押す強さを検知する。圧力の大きさに従って文字を太くする機能を付加する。同社は指操作に向く静電容量方式と、ペン操作に向く抵抗膜方式のタッチパネルを手がけており、新センサーは静電容量方式との組み合わせを想定している。
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