日立がCNTを探針に用いた光学顕微鏡を開発

20131003電波新聞13面

　日立製作所はカーボンナノチューブをプローブに用いたNSOM(近接場光学顕微鏡)を開発し、波長850nmのレーザー光を用いて、幅5nmの金のパターンの画像化に成功した。NSMOは走査型トンネル顕微鏡や原子力間顕微鏡など操作プローブ顕微鏡ではできない微小部分の組成や分子構造を知ることができるが、微小な光スポットを作ることが課題であった。先端を4nmに尖らせたCNTのプローブにより実現した。