20131030日経産業新聞1面
セイコーインスツル(SII)は超小型で待機電力ゼロの、動きを検知すると電流が流れる加速度スイッチを開発した。MEMS技術を活用し、上下のガラス基板がシリコンを挟む構造で、シリコンの中央部と周辺に電極を形成し、振動を受けて周りの電極が中央の電極に接触すると電流が流れる。通常の加速度スイッチは常に振動を検知するため微弱電流が流れているが、本製品では静止時には電流が流れず消費電力を大幅に抑えられる。自動車のエアバッグ等安全制御や建物の地震甲地などの用途を見込む。
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