村田製作所のMEMSセンサー、高精度と高信頼性を両立

20120927電波新聞18-19面

　村田製作所はフィンランドのMEMS専業メーカーVTI社を買収し、3次元MEMS技術用いたMEMSセンサーを市場に供給している。3次元MEMS技術は可動部を構成するシリコンウエハーと、上下から挟んで接合・封止するCAPウエハーで実現する。MEMS構造部からの引き出し電極にVIAを導入して電極間の高い絶縁抵抗と低い寄生容量を、可動部と蓋の間の2.5マイクロメートルという高精度な空間制御、原子レベルの気密封止により高精度化、高安定性を実現した。加速度センサー、ジャイロスコープ、2つのセンサーを1パッケージに収めたコンボセンサーを提供している。