MEMSデバイス需要が急拡大、自動車、モバイル機器から医療・ヘルスケア分野にも応用進む

20120927電波新聞15面

　MEMSを用いたデバイスの需要が拡大している。応用が進んでいるのがセンサーデバイスで、圧力センサー、加速度センサー、ジャイロ(角速度)センサーなどが実用化されさまざまな機器に搭載されている。自動車には100個程度のセンサーが搭載されていると言われ、エアバッグシステムで加速度センサーが、油圧や空気圧の検知、タイヤやステアリングの角度検知にMEMSセンサーが搭載されている。近年はスマートフォンに加速度・ジャイロセンサー、磁気センサー、気圧センサーが搭載され、MEMSの市場も拡大している。
　マイクロマシンセンターの調べでは、MEMSの国内市場規模は2010年実績で7227億円、2015年には1兆5500億円と倍増の見込み。今後も、マイクや高周波フィルター、スイッチという従来デバイス分野へのMEMS技術の応用が進む。応用分野も医療・ヘルスケアでの圧力センサーや血液等分析チップ、需要増が見込まれている。