MEMS非接触温度センサー、高感度、幅広い用途(オムロン)

20120628電波新聞3面

　MEMS技術を用い赤外線を検出する高感度非接触温度センサーをオムロンが開発した。n型ポリシリコン、p型ポリシリコンとアルミニウムを材料とする熱電対を直列につないで熱電対列(サーモパイル)を形成、熱絶縁性の高い誘電体薄膜上に温接点、熱伝導率の高いシリコン上に冷接点を形成した。静止人物や、FA設備の異常温度を検出でき、省エネ家電や省エネビル・オフィスなど幅広い用途を見込んでいる。