MEMS3軸センサー量産にめど、ロボ手足向け市場開拓(タッチエンス)

20120615日刊工業新聞6面

　MEMS技術を応用し、3軸方向の力を検知する触覚センサー「ショッカクチップ」の量産にタッチエンス(東京都台東区)がめどをつけた。月産1万個の場合は1個2000円で販売できるという。新モデルは直径8ミリメートルｘ厚さ1ミリメートルと小さくて薄く、温度ドリフトも解消した。人型ロボットの足裏や、手の指先に組み込むセンサーとして市場を見込んでいる。