量産性に優れるシリコンNEMSケミカルセンサ：カリフォルニア工科大学

海外技術動向
http://cen.acs.org/articles/90/web/2012/02/Large-Scale-Production-Nanosensors.html
　量産性に優れるシリコンカンチレバー型の高感度ケミカルセンサをカリフォルニア工科大学(Caltech)がMinatecと共同で開発している。このカンチレバー型センサは化学分子をppbの濃度で検出することができる。ガスクロマトグラフや質量分析器への応用が期待されている。
　カンチレバーサイズは幅800nm、長さ2μmである。何らかの分子がカンチレバーに付着すると振動数を減少させる。ここではその分子量まで識別することが可能である。わずか1ppbのガスを2秒で検出することが可能である。
　このケミカルセンサはシリコンプロセスで大量生産することが可能で、将来低価格な分析器、携帯型分析器への応用が期待される。

　　　　　　　　　　　　　　　　カンチレバー型ケミカルセンサアレイ