ナノドメイン構造を有する圧電薄膜で超高速応答

20120209電波新聞14面

　高輝度光科学研究センター(JASRI)、東京工業大学、物質・材料研究機構(NIMS)及び京都大学の研究グループは、「ナノドメイン」と呼ばれる微小領域を有する圧電体薄膜が200nSという超高速でスイッチング可能であることを確認した。圧電体膜を活用し、今後の発展が期待される圧電MEMSでは、どの程度高速に動くか確認されていなかった。研究グループは大型放射光施設Spring-8(兵庫県)の設備を利用し、Ｘ線回折測定の”高速ストロボ撮影“により測定し、200nSの高速で微小領域の結晶の向きが変化することを確認した。