３D形状、高精度に測定、１兆分の1メートル単位で(マグネスケール)

20120223日経産業新聞15面

　森精機製作所の子会社マグネスケールは、レーザー光により8.4ピコメートルの分解能を持つ、物体の3次元形状を測定する非接触変位計を開発した。半導体製造・検査装置の制御や半導体ウェハの計測、工作機械の精度調整などへの応用が期待される。