DLC膜規格をISOに提案(ナノテックとニューダイヤモンドフォーラム)

20120207日刊工業新聞6面

　DLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)膜を7種類に分類する国際規格をナノテック(千葉県柏市)とニューダイヤモンドフォーラムがISOに提案する。DLC膜は水素量やダイヤモンド結合の量により物性や用途が異なるが、識別が困難だった。分光エリプソメーターで膜厚と膜表面の光が入る角度を測定し、水素量とダイヤモンド結合量を割り出し、7タイプに分類した。ICF(真性カーボン膜)という新呼称を採用し、DLCを含めた枠組みとして提唱する。