薄いガラスに流路形成、アリューズが手法確立

20120828日刊工業新聞8面

　超音波スピンドル加工と溶着接合により、薄いガラス板の内部に流路を形成する手法を、アリューズ(埼玉県)が開発した。最薄で厚さ0.6ミリメートルのガラス板内に、高さ0.2、幅0.6ミリメートル程度の溝を形成できる。流路溝を掘った複数枚のガラスを接合して3次元流路の形成も可能。