光リソグラフィー技術、数ナノメートルの加工分解能(北大)

20110829日刊工業新聞21面 　北海道大学電子科学研究所の上野貢生准教授、三澤弘明教授らは近赤外線を光源に使い、数ナノメートルの分解能で加工できる光リソグラフィー技術を開発した。加工分解能は露光用の光源の波長に依存し、真空環境下で真空紫外線(EUV、波長13.4ナノメートル)を光源とする露光装置を使えば20-30ナノメートルの加工ができるが装置が高額だった。今回、金や銀などの金属のナノ構造体が光と相互作用する性質を利用し、数ナノメートルの加工分解能でレジストパターンを形成する「プラズモンンリソグラフィー」と呼ぶ技術を開発した。通常の大気中で使える近赤外光を使い、高額な装置を使わなくても精密な加工ができる。