3軸加速度センサー、直交性を高精度検査(東工大)

20110823日刊工業新聞4面

　東京工業大学の伊能教夫教授、木村仁助教らの研究グループは3軸加速度センサーの直交性を1000万分の1度レベルで検査校正する技術を開発した。検査装置は、センサーが一定方向を向いたまま円運動をし、各軸の出力サイン波を分析して、軸からずれた角度を位相差から、感度を振幅からそれぞれ算出する。センサーの各軸を運動面からずらして設置し、角度を変えて2回測定し、3軸の方向と感度が求められる。3軸センサーは組立や実装の際に軸がずれることがあり、1軸毎に測定すると高精度測定が難しかった。地震計など高精度測定が求められるセンサーの校正技術として期待される。