MEMS発振器新製品を発表、水晶振動子、置き換え狙う(米サイタイム)

20130409電波新聞2面

　モバイル市場の水晶振動子からの置換を狙うMEMS発振器の新製品を米SiTimesが発表した。SiTimesは2年前にサーバーやPC、ルーター、デジタルカメラ、イーサネットスイッチなどインフラ市場向けにMEMS発振器をリリース、現在では世界のMEMSタイミング市場で80％のシェアを握る。MEMS発振器はMEMS振動子回路とPLL(フェーズドロックループ)をシリコン基板上に集積している。新製品のMEMS振動子は、外付けのキャパシタを必要とする従来の水晶振動子による発信回路に比べ、プリント基板への実装面積を最大85％削減、消費電力は0.75µAで同仕様の水晶振動子の半分。

老巧インフラに大量センサー、ビッグデータで故障予知、改修費削減、NECがシステム

20130407日本経済新聞7面

　「大規模プラント故障予兆監視システム」という、社会インフラや大規模プラントに大量のセンサーを取り付けて振動・温度・水流などのデータを収集・解析し、異常データをを検出して故障の予兆を知らせるシステムをNECが開発した。NECは原子力発電所に3500個のセンサーを取り付けた試験を実施して実用化にめどを付けた。センサーの追加を自動認識し、容易に設備を拡張できるのが特徴。

光発電素子、太陽光なくても発電、多目的センサーに(国際先端技術総研)

20130405日刊工業新聞23面

　低照度でも発電する光発電素子を国際先端技術総合研究所(東京都港区)が開発した。同社が早稲田大学逢坂研究室と共同で開発したナノ二酸化ケイ素の人工水晶を活用し、低照度でも太陽電池が起動できるように改良した。50平方センチメートルの素子に1000ルクスの光を当て、約2.8ミリワットの電力を得た。また、2平方センチメートルの光発電素子に約20ルクスの光を当て、数十µアンペアの電流を流すことに成功している。室内照明や星空などでの発電が可能となり、家庭、オフィス、工場や公共施設、道路などで使用される多目的センサーの電源として活用しうる。

成膜スループット4倍、PZT圧電膜用ソルゲル材料(三菱マテリアル)

20130404電波新聞3面

　圧電MEMSデバイス向けに、従来より4倍のスループットで製膜するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)圧電膜用ゾルゲル材料を、三菱マテリアルが開発した。PZTの成膜手法はスパッタリング法とゾルゲル法があり今回はゾルゲル法によるもの。1回の成膜で膜厚を400ナノメートルとし、成膜スループットを8.8メートル/時とした。今後は成膜装置メーカーと協力し、8インチウェハーサイズでの量産成膜プロセスを構築する。

取り込んだ薬物を光照射で放出、DDSに応用、ナノカプセル開発(北海道大学)

20130403日刊工業新聞19面

　光を当てると中に取り込んだ薬物を放出するナノカプセルを北海道大学の新倉謙一准教授らが開発した。薬を患部の狙ったところに運ぶ薬物送達システムへの応用をめざし、企業との共同研究を進めて、2～3年で材料として提供できるレベルの技術確立を目指す。テトラヒドロフラン溶液に、直径5～20ナノメートルの金ナノ粒子にフッ素化されたポリエチレングリコールを被覆すると、金ナノ粒子が自動で集まり中空のカプセルができる。このカプセルの表面を水に溶ける性質の分子で覆うと、水に分散する外径100ナノメートル、内径50～60ナノメートルのカプセルができる。62.5℃にするとカプセルが少し開き薬物を導入でき、25℃で15時間精製した後は壊れない。カプセルに532ナノメートルのレーザーを当てると中の薬剤が放出される。抗がん剤を入れたカプセルをがん細胞に投与し光を当てて細胞を死滅させることができる。

触覚センサー、主力事業に、クルマの乗り心地測定器など(佐竹製作所)

20130403日経産業新聞13面

　MEMS技術を活用した「触覚センサー」を扱う佐竹製作所は、同事業の拡大を図り、小型センサー事業を4年後に現在の10倍以上の5億円に引き上げる。2010年に触覚センサーの技術を東京大学から購入し、11年に同センサーを開発・販売する子会社タッチエンスを設立し、同社の13年10月期の売上高は4000万円程度。触覚センサーは圧力や滑る力・方向を測定できる。現在は産業用ロボットや医療用ロボット向けに販売しているが、国内自動車メーカーと組み乗り心地を調べる装置を開発する。センサー性能も現在の5倍の200ニュートンまでを計測でき、誤差を±7％から同1％に抑える。

センサー、エネ関連など新成長市場に注目、20年には5兆8661億円規模、モバイル機器用センサー、MEMS技術を応用

20130327電波新聞3面

　電子情報技術産業協会(JEITA)がまとめたセンサーの世界需要見通しでは、11年実績の1兆8290億円に対して年平均14％増で推移し、20年には5兆8661億円に達する。モバイル機器用センサーではMEMS技術による超小型センサーが活発化し、温度、湿度、気圧、ガス、色などに加え、電子コンパス用の3軸地磁気センサー、地図・ナビゲーション用の方位と加速度センサーを組み合わせたモジュールセンサー、液晶表示制御用の近接・照度センサーが開発されている。エネルギー関連センサーでは、スマートハウス向けに検知情報をネットに送信するシステムの開発が進むと共に、様々なシーンの温度検知・補償用のサーミスタ、太陽光発電のパワー制御向けの電流センサーの開発が活発化している。自動車向けでは吸気温、燃料噴射、燃焼検知、燃焼圧、油圧、排気温の各センサーに加え、TMR(トンネル磁気抵抗)技術による角度センサーが開発されている。