小規模半導体工場「ミニマルファブ、産総研など初納入、車関連メーカーに

20140331日刊工業新聞26面

　産業技術総合研究所とミニマルファブ技術研究組合は、クリーンルームが不要で設置面積が既存の100分の一となる半導体製造設備「ミニマルファブ」を製品化し、自動車関連メーカーから初受注した。受注額は約1億円で洗浄装置2台、現像装置、露光装置、塗工機の5台。現在の装置は1000万～3000万円だが10年以内には100万～1000万円程度を目指す。