金メッキ使い加速度センサー、検出感度10倍に(東工大など)

20140306日刊工業新聞22面

　東京工業大学の益一哉教授、山根大輔助教、町田克之教授、東京大学年吉洋教授、NTTアドバンストテクノロジは共同で従来のシリコンMEMS加速度センサーに比べて10分の1という微小な加速度を検出できる超高分解能加速度センサーを開発した。重りとして金を使用したもので、2019年の実用化を目指す。