MEMSプローブカード、DRAM市場参入、次世代ロジック向け年内投入(日本電子材料)

20140303日刊工業新聞9面

　日本電子材料はMEMS技術を用いた半導体試験装置のプローブカードでDRAM市場に参入する。DRAMは狭ピッチ、多ピン化を背景に、MEMSプローブカードが主流になっており、この市場に参入するもの。